H2Pioneer-Pave the way for green hydrogen for early adopters in the light industry
Ausgangssituation
Wasserstoff wird in der Halbleiterfertigung von Infineon Villach als Trägergas verwendet. Nach dem Fertigungsprozess wird Wasserstoff unverbraucht und verdünnt an die Atmosphäre abgegeben. Hohe Reinheitsanforderungen (8.0 entsprechen 99,999999 Vol.-%) an den eingesetzten Wasserstoff, gepaart mit hohem Verbrauch, stellen große Herausforderungen an Qualitätssicherung, Versorgungssysteme und Logistik dar. Bisher erfolgt die Versorgung mit Flüssigwasserstoff, der aus fossilen Rohstoffen hergestellt und mittels LKW aus Leuna (DE) bzw. Rozenburg (NL) angeliefert wird. Europaweit existieren lediglich drei Bezugsquellen für verflüssigten Wasserstoff. Steigende Fertigungsvolumina sowie die Einführung neuer Halbleiterprodukte und Technologien führten in den letzten Jahren zu einem stark steigenden Wasserstoffbedarf bei Infineon und das bisherige Versorgungskonzept an sein Kapazitätslimit. Alternative und nachhaltigere Konzepte sind daher zu evaluieren.

©Infineon Austria
Projektverlauf
Um am Ende die richtige Anlage stehen zu haben wurde gleich am Anfang mit der Concept Selection begonnen; dazu wurde der Gestaltungsspielraum in der Erzeugungskette analysiert und nach Eignung für den Anwendungsfall bei H2Pioneer untersucht. Auch die Wahl des besten Nachnutzungskonzeptes wurde auf Basis einer Nutzwertanalyse durchgeführt. Parallel zum Engineering wurden die zu messenden Parameter für die Verifizierung der – in der Anfangsphase erstellten – Modellierung definiert und mit dem Hersteller akkordiert.
Meilensteine
- Anforderungsanalyse, KPIs und Use Cases erstellt
- Simulationsmodell erstellt
- Top-Level-Design erstellt
- Basic Engineering abgeschlossen
- Behördengenehmigung erhalten
- Grüne Wasserstofferzeugung in Betrieb
- Optimierungspotential identifiziert
- Optimierung erreicht
- Erfolgreiche Demonstration
- Roll-Out-Szenarien definiert
"Den bisher verwendeten grauen Wasserstoff können wir zukünftig durch am Standort erzeugten grünen Wasserstoff ersetzen. Damit schaffen wir gemeinsam mit unseren Industriepartnern eine nachhaltige und CO2-neutrale Lösung für einen Fertigungsprozess in der Halbleiterindustrie."
- ZITAT Dieter Kolhanek -
Steckbrief
Projektnummer
868807
Koordinator
VERBUND Solutions GmbH
Partner
Verbund Energy4Business GmbH
Energieinstitut an der Johannes Kepler Universität Linz
HyCentA Research GmbH
Infineon Technologies Austria AG
Linde GmbH
WIVA P&G
Schlagwörter
Grüner Wasserstoff, Elektrolyse, Halbleiterindustrie, Hohe Gasreinheit
Projektleitung
Dieter Kolhanek, dieter.kolhanek@verbund.com
Dauer
01/10/2018 - 31/12/2020
Budget
772,192€